




氦質(zhì)譜檢漏儀的進展
經(jīng)過近半個世紀(jì)的努力,今天的氦質(zhì)譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。
集中體現(xiàn)在如下幾個方面:
(1)便攜式:近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
(3)自動化程度高:自動校準(zhǔn)氦峰,自動調(diào)節(jié)零點,量程自動轉(zhuǎn)換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單的選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。
(5)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。
分子泵排氣系統(tǒng)取代擴散泵排氣系統(tǒng),不僅解決了油蒸氣對質(zhì)譜室的污染問題,而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。為適應(yīng)檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同,分子泵一般采用多級構(gòu)造和幾種不同的轉(zhuǎn)速。
例如:瑞士、日本采用改變分子泵轉(zhuǎn)速來達到此目的,且提高檢漏靈敏度。
另外,逆擴散檢漏方式,實現(xiàn)了高壓強下檢漏,也為正壓吸槍檢漏提供了良好的條件。
氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式有那些
氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴散檢漏。
逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比)即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設(shè)計的。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到僅對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應(yīng),從而可知漏孔所在及漏氣量大小。
氦質(zhì)譜檢漏儀逆擴散原理
逆擴散方式檢漏允許被檢件內(nèi)壓強較高,氦質(zhì)譜檢漏儀可達1000Pa(一般常規(guī)檢漏儀為0.05Pa以下),適合檢大型容器或有大漏的器件,也適合吸槍檢漏。逆擴散方式還具有質(zhì)譜管不易受污染,燈絲壽命長等優(yōu)點。
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檢漏儀的優(yōu)點
1、多種語言和計量單位選擇,可選中文界面。
2、135o 電離偏轉(zhuǎn) (自然聚焦點)的全新質(zhì)譜技術(shù),金屬密封結(jié)構(gòu)。
3、新的電子線路及信號處理設(shè)計。
4、小可檢漏率高、靈敏度覆蓋范圍可達12個量程。
5、快速清氦和快速響應(yīng)。
6、測試口耐壓高,可實現(xiàn)大漏檢漏。
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真空箱氦檢漏及回收系統(tǒng)在汽車空調(diào)的應(yīng)用一
水檢和氦檢兩種檢漏方法的分析
目前,水檢和氦檢兩種檢漏方法國內(nèi)汽車空調(diào)兩器檢漏主要的方法,下面將分析兩種檢漏方法的優(yōu)缺點。
1.1 傳統(tǒng)水泡法檢測分析
水泡檢漏法,屬于檢測精度要求不高的粗檢漏,就是將被檢工件充入一定壓力的干燥壓縮空氣或者是氮氣,然后放入水中,觀察是否有氣泡從被檢工件中跑出來,如果有,則說明漏,而且指出什么位置泄漏,一般只確定被檢件是漏還是不漏,而不需定量。但并不是說氣泡檢漏就不能定量。在某些情況下,氣泡檢漏也可以定量。檢出氣泡的漏率與氣泡直徑、氣泡形成速率、充氣的種類有關(guān)。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過漏孔并易擴散。
因此,對于空調(diào)兩器檢漏來說,采用水檢方法,靈敏度較低。受人為因素影響,漏判誤判率會明顯增加。另外,工件水檢后,外表面有水,需烘干處理,耗電多,耗費勞動力也多。但水檢法也有優(yōu)點,就是操作簡單直觀,而且能夠查找漏點位置。
1.2 氦質(zhì)譜檢漏方法分析
氦質(zhì)譜檢漏是以氦作探索氣體,對各種需密封的容器的漏隙進行快速定位和定量檢測的理想方法。
氦質(zhì)譜檢漏法有優(yōu)點在于:氦是惰性氣體,對大氣無污染,使用安全;氦原子質(zhì)量小,黏度小,易滲透過可能存在的漏隙。氦氣在大氣中含量小(5ppm),不易受干擾。氦質(zhì)譜檢漏儀檢測靈敏度高,速度快,適用范圍廣。
目前國內(nèi)生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀較小可檢漏率可達到5.0×10-13 Pa·m3/s。目前,國內(nèi)外比較流行的針對空調(diào)兩器檢漏方法,多采用真空箱法。